10級(jí)無(wú)塵設(shè)備內(nèi)材料要求

zbn@2016

請(qǐng)問(wèn)，有沒(méi)有大神是做過(guò)10級(jí)無(wú)塵等級(jí)要求的設(shè)備的，我想咨詢下內(nèi)部的機(jī)械材料，運(yùn)動(dòng)組件是不是有特別的要求。環(huán)境是：氮?dú)猸h(huán)境下，10級(jí)（上方布有FFU）

遠(yuǎn)祥

這個(gè)需要增加額外的冷卻防護(hù)液來(lái)保護(hù)密封圈。