角接觸軸承 面對面安裝問題

littlecan

最近在做芯片半導(dǎo)體相關(guān)的CMP設(shè)備，晶圓拋光頭，拋光盤直徑120mm，懸臂安裝，軸向載荷最大100N，單向受力，最高轉(zhuǎn)速120r/min。示意圖

市面產(chǎn)品有背對背安裝的，也有面對面安裝的，按照經(jīng)典理論

1、背對背DB安裝時，載荷作用中心處于軸承中心線之外；力作用點(diǎn)跨距較大，故懸臂端剛性較大，當(dāng)軸受熱伸長時，軸承游隙增大，軸承不會卡死破壞；

2、面對面DF安裝時，載荷作用中心處于軸承中心線之內(nèi)；結(jié)構(gòu)簡單、拆裝方便，當(dāng)軸受熱伸長時，軸承游隙減小，容易造成軸承卡死。

目前采用面對面安裝設(shè)計，主要出發(fā)點(diǎn)體積小，結(jié)構(gòu)簡單。

主要疑問點(diǎn)

1. 軸承的游隙怎么解決？ 樣品設(shè)計中采用718系列薄壁軸承，對預(yù)緊力比較敏感，很容易松垮或者壓死，準(zhǔn)備改進(jìn)采用螺紋端蓋壓緊。但是還有一個發(fā)熱造成的卡死問題，產(chǎn)品均采用316不銹鋼，熱膨脹系數(shù)大，工作中環(huán)境溫度18℃-20℃，拋光頭下面拋光盤有冷卻水道，在目前轉(zhuǎn)速和環(huán)境溫度下，對軸承的發(fā)熱拿捏不準(zhǔn)。

市面的產(chǎn)品軸承采用7000系列，體積比較大，沒有游隙調(diào)整。

2.軸承的徑向額定動載荷11800N，軸向載荷按1/10取，遠(yuǎn)小于工況100N，能否采用深溝球軸承？？？或者采用一個角接觸軸承，一個深溝球軸承。

走江湖

圖呢？

littlecan

走江湖 發(fā)表于 2023-5-5 15:02
圖呢？

圖掛了，看這里

海里搬磚

怕發(fā)熱軸承卡死，可以提前對軸進(jìn)行預(yù)拉

梓州

與其在這里糾結(jié)，不如聯(lián)系各大軸承廠家技術(shù)工程師，在那里能得到更專業(yè)的回答

黃斯超

這點(diǎn)軸向載荷感覺不如選個好點(diǎn)的深溝球

littlecan

黃斯超 發(fā)表于 2023-5-8 15:38
這點(diǎn)軸向載荷感覺不如選個好點(diǎn)的深溝球

軸承都是國際大牌子，我最近改了，用一個角接觸和一個深溝球組合使用。馬上進(jìn)行實(shí)驗(yàn)了。

繼續(xù)在

空間夠的話可以用一對DB角接觸+推力球+推力球+深溝球組合成軸承座

FKUEDEJXSQ2

推力球