求助：哪種機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)μ級精度調(diào)節(jié)？？？

andy1216

各位達(dá)人:
    小弟想請教一下，我現(xiàn)在要做一個(gè)設(shè)備，要求在某一方向調(diào)節(jié)時(shí)精度在μ級，常用的絲杠和線軌無法實(shí)現(xiàn)，請教各位前輩這方面的寶貴經(jīng)驗(yàn)，不甚感激�。。�！
  J# _4 Q1 |0 E

古林lily

這個(gè)問題問的有點(diǎn)籠統(tǒng)，絲杠和線軌也有μ級的�。￡P(guān)鍵是檢測系統(tǒng)，采用全閉環(huán)的檢測系統(tǒng)。也可以用雙齒輪齒條機(jī)構(gòu)

動靜之機(jī)

回復(fù) andy1216 的帖子
, G# ^# D3 }# l, j. t* S
您要求總的工作行程是多大呢？ 進(jìn)給時(shí)的負(fù)載有多大呢？
) g8 h" C, W7 Z( }  Z2 G: w

+ T# W+ |$ C6 C) ~  B2 e

andy1216

回復(fù) 古林lily 的帖子
! K) Q+ ?) F" K1 ^/ k* {: N7 G8 j4 X* L
2 |3 J; m3 e; ?5 p" O2 m; m! U你好lily，謝謝你的回復(fù)，是這樣的，我再詳細(xì)一點(diǎn)說明情況，目前我想用純機(jī)械結(jié)構(gòu)來控制調(diào)節(jié)精度，從而使一個(gè)部件在垂直方向運(yùn)動，精度控制在μ級，您說的雙齒輪齒條是什么結(jié)構(gòu)（例如哪種設(shè)備上有應(yīng)用），謝謝��！

andy1216

回復(fù) 動靜之機(jī) 的帖子
- j: i* l7 v& P9 d1 K) {7 T" i
您好，我想要的簡單理解就是類似于X軸滑臺的東西，我部件裝在上面可以實(shí)現(xiàn)μ級精度調(diào)節(jié)，現(xiàn)在要求行程無所謂大小，負(fù)載在100kg左右，這種只是單純的機(jī)械控制，其他的方式您有所了解嗎?

螺旋線

參考精密磨床的進(jìn)給機(jī)構(gòu)。
) Z; [* B2 Q3 [9 h! Y2 c  A) G( E國產(chǎn)的MG，進(jìn)給當(dāng)量是0.2微米。

andy1216

回復(fù) 螺旋線 的帖子

謝謝您的回復(fù)，您說的MG是？

螺旋線

MG是就是高精度磨床，比如MG1320，MG1412。