請(qǐng)行家出山，該對(duì)焦板是如何實(shí)現(xiàn)電子束自動(dòng)對(duì)焦的？

dotaman

打瓶醬油~！~

淺藍(lán)色

鬼魅道長(zhǎng) 發(fā)表于 2013-4-3 09:30
不是這樣的，兄弟，自動(dòng)對(duì)焦是通過(guò)掃描三個(gè)等距的電極，通過(guò)收集每個(gè)電極不同的電壓值，分析波形來(lái)判斷對(duì) ...

6 j* w( X1 M8 A+ |0 V+ M是這樣的啊，挺高級(jí)的

親力親為

鬼魅道長(zhǎng) 發(fā)表于 2013-4-3 09:30
不是這樣的，兄弟，自動(dòng)對(duì)焦是通過(guò)掃描三個(gè)等距的電極，通過(guò)收集每個(gè)電極不同的電壓值，分析波形來(lái)判斷對(duì) ...

既然平面對(duì)焦，那直接用一塊不帶孔的對(duì)焦板不就可以了嗎？那塊對(duì)焦板上均勻分布的9個(gè)孔，該不會(huì)是多余的吧？
" `( p8 ^8 O+ v

鬼魅道長(zhǎng)

親力親為 發(fā)表于 2013-4-3 17:45
% |. F0 _  O: |# Q- W- ^( d% I既然平面對(duì)焦，那直接用一塊不帶孔的對(duì)焦板不就可以了嗎？那塊對(duì)焦板上均勻分布的9個(gè)孔，該不會(huì)是多余的吧 ...

要掃描的，哥們，一定要在示波器上掃出一個(gè)波型來(lái)，正確了，才算對(duì)焦成功。對(duì)點(diǎn)聚焦三個(gè)孔就夠了，九個(gè)是為了平面。
' b6 O. z) i: T- {$ k: ^

DJEL

我是做電子掃描顯微鏡研發(fā)的。

在我看來(lái)，那幾個(gè)孔是用來(lái)電子束通過(guò)的，叫做光瀾，當(dāng)其中的任何一個(gè)孔和下面的物鏡中心對(duì)中后（就是對(duì)焦），改變物鏡的聚焦條件，會(huì)看到電子束光斑的大小變化，但是中心不變，這樣就說(shuō)明光瀾和物鏡對(duì)中了，對(duì)中的目的就是為了減小像差，像差越大就會(huì)影響到電子束光斑越大。
3 V4 R1 Y( A) |
可以多多技術(shù)交流，我做電子束設(shè)備的，所以特別希望和應(yīng)用或者相關(guān)領(lǐng)域的朋友多多交流，請(qǐng)加我qq3390696138