一種硅片傳輸機械手

丹楓911

種應用于半導體設備上的硅片傳輸機械手

gaolaodajiayou

看的不是很清楚，半導體行業(yè)真空用的很普遍，現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動。

長江漂流

是用的非接觸吸盤來吸取硅片的吧。

WAST1989

gaolaodajiayou 發(fā)表于 2013-5-30 22:13
' W% J( e6 ~, o  {- m, V看的不是很清楚，半導體行業(yè)真空用的很普遍，現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動。

斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？
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xmdesign

WAST1989 發(fā)表于 2013-5-30 22:42
6 r* c. J  `2 H1 e* U斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？

! Q, S# a1 r* X" |用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制 前、后、左、右懸浮飄移
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931673326

看看

天氣

感覺稍顯笨重。。。

bitter007

xmdesign 發(fā)表于 2013-5-31 07:14
用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制 前、后、左、右懸浮飄移
...

6 C* ]2 v- d# d  H) `8 ^展會上見過磁懸浮傳動的
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