微米級(jí)精度的測(cè)量，有哪些方法

忍愛(ài)天下

最近在測(cè)一些數(shù)據(jù)，要求精度至少在1um以?xún)?nèi)，現(xiàn)在自己了解到的關(guān)于一些測(cè)量的工具如游標(biāo)卡尺、深度尺、高度尺、百分表、塞尺也就在0.01mm的精度，內(nèi)徑、外徑千分尺可以達(dá)到0.001mm但是在一些場(chǎng)合用他們來(lái)測(cè)量的話(huà)礙于結(jié)構(gòu)形式不能實(shí)現(xiàn)，而千分表的話(huà)則對(duì)于多次測(cè)量需要找一個(gè)基準(zhǔn)做參考，且主要用來(lái)測(cè)跳動(dòng)的居多�，F(xiàn)在機(jī)床上精度用的比較高的測(cè)量裝置就是光柵尺，然而它不能像卡尺這樣用著隨心應(yīng)手，再者一些比較高端的測(cè)量工具如激光干涉儀等一些光學(xué)測(cè)量元件其價(jià)格昂貴。
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各位在實(shí)際測(cè)量一些微米級(jí)或者精度更高的尺寸時(shí)，用的是什么測(cè)量工具？
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小弟不才，才疏短淺望各位前輩能指點(diǎn)一二。謝謝。如測(cè)量直線(xiàn)導(dǎo)軌， 滑塊的測(cè)量與導(dǎo)軌側(cè)面的距離要求精度微米級(jí)以?xún)?nèi)。

LIAOYAO

昨天才發(fā)過(guò)  求精度為微米級(jí)的測(cè)量方式或工具？
7 C2 F$ L9 \- M0 v今天再發(fā)個(gè)  微米級(jí)精度的測(cè)量，有哪些方法

3 A5 ~1 k5 q+ N+ N帖子內(nèi)容基本上有90%以上是雷同。

寂靜天花板

測(cè)量的先決條件是確定要測(cè)的是什么量，也就是要對(duì)特定的被測(cè)量作明確說(shuō)明，或者說(shuō)對(duì)要測(cè)量的量下一個(gè)定義。實(shí)際上，被測(cè)量應(yīng)相應(yīng)于所需準(zhǔn)確度而完整定義，以便對(duì)與測(cè)量有關(guān)的所有的實(shí)際用途來(lái)說(shuō)，其值是單一的。舉例:一根長(zhǎng)度標(biāo)稱(chēng)值為1m的鋼棒若需測(cè)準(zhǔn)至微米級(jí)，其說(shuō)明應(yīng)包括定義長(zhǎng)度時(shí)的溫度和壓力。如: 應(yīng)說(shuō)明被測(cè)量為鋼棒在25.00℃和101325Pa時(shí)的長(zhǎng)度。如果僅說(shuō)明鋼棒在101325Pa時(shí)的長(zhǎng)度，沒(méi)有說(shuō)明溫度，那么，對(duì)于不同的溫度，會(huì)有不同的鋼棒長(zhǎng)度值，被測(cè)量就不是單一值了。然而，如果被測(cè)長(zhǎng)度僅需毫米級(jí)準(zhǔn)確度，其說(shuō)明可能就無(wú)需規(guī)定溫度或壓力或任何其他影響量的值。

jin386

基恩士的位移傳感器，精度可以達(dá)到0.0001，測(cè)量范圍比較小，只有幾十

揚(yáng)天測(cè)量

要不做檢具，要不老老實(shí)實(shí)比對(duì)測(cè)量
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沙漠鷹狼

這個(gè)精度對(duì)測(cè)量工具、測(cè)量員、測(cè)量環(huán)境要求真的太高了，國(guó)內(nèi)這樣的企業(yè)多嗎？

chuangyan

這應(yīng)該叫納米測(cè)量技術(shù)了

立為智能

6 d! R* D% [+ F" W3 u6 F( {2 D微米級(jí)精度要求，實(shí)際分辨率要求則是納米級(jí)精度，常見(jiàn)的普通測(cè)量顯微鏡等受數(shù)值孔徑限制都已無(wú)法滿(mǎn)足，如要求微米級(jí)精度測(cè)量Z方向深度或粗糙度，基本上是要使用光學(xué)輪廓儀,

立為智能

光學(xué)輪廓儀又叫白光干涉儀，152-1950-4346孫

hitele002

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