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回復(fù) 29# 的帖子
呵呵~還是揚(yáng)天師兄思路嚴(yán)謹(jǐn)。
) g" _# y0 R: w+ q* z+ v6 @: |- _我說的0.004μm的重復(fù)精度是指我做實(shí)驗(yàn)的那次的經(jīng)驗(yàn)值。被測的是同一個(gè)環(huán)規(guī)的同一個(gè)位置。假如換個(gè)時(shí)間去測,也許會有所偏差,但是一個(gè)稍有耐心的技術(shù)人員20nm以內(nèi)是能夠保證的。
6 O @( b4 m! M+ R$ n這類超高精度的量儀對環(huán)境的要求都很高,被測工件的物理因素也必須考慮,調(diào)整適當(dāng)?shù)臏y力以滿足不同要求。主要用來檢定環(huán)規(guī)塞規(guī)~~~
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( ?% F3 c" D( y. x, U假如樓主的問題按精度(有效分辨率)劃分,可分為低(10~100μ)、中(1~10μ)、高(0.1~1μ)、超高精度(。!0.1μ)。大致上:' R8 @" K. I6 t B
尺類——低精度,其中千分尺等精度較高;+ }' q1 X1 |5 s% J( U, t* V. T
表類——中等精度,百分表精度較低;% ?! p& l" D: |0 e9 F
氣動、電動等比較量儀類——高精度,也因廠家而異;
V0 K2 M! m, g6 c9 O光學(xué)量儀——中~高精度;
8 Y5 b2 n0 E& W9 u其他測長儀、高度儀、三坐標(biāo)等不同產(chǎn)品精度跨度較大——中~超高。
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- O7 f7 @, B; \* ^5 [; ^個(gè)人意見,歡迎補(bǔ)充或拍磚~~:)
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- h0 s q1 \0 z, e. e" t[ 本帖最后由 野獸飄飄 于 2007-12-13 17:27 編輯 ] |
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