超精密加工

camvinh

我們研究室做超精密加工研究，機床加工精度達到1μm以下，表面粗糙度5-10nm，一刀就出鏡面。有興趣的朋友，可以交流交流。
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qq707459754

清華？ 牛掰

leyfa7@126.com

用的什么刀具？
粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
7 ?( s7 k  R9 l2 J$ ?最長試驗工件是多少？

camvinh

leyfa7@126.com 發(fā)表于 2017-10-10 10:01
用的什么刀具？
粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
' t2 G8 l) O3 U5 Z1 u! x8 H) N最長試驗工件是多少？

& o0 r3 G8 ^; ~$ ^& K" B用天然金剛石刀具，粗糙度能達到5-10nm，精度<1μm
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喀秋莎88

大理石床身，看起來高端啊。

camvinh

leyfa7@126.com 發(fā)表于 2017-10-10 10:01
用的什么刀具？
粗糙度和精度可以代替磨削嗎？
最長試驗工件是多少？

  F1 m  v5 k: K( @最長150mm

喀秋莎88

千島2000轉(zhuǎn)手動卡盤？

camvinh

喀秋莎88 發(fā)表于 2017-10-10 10:08
千島2000轉(zhuǎn)手動卡盤？

) K! h5 b5 i6 S' t! L是的

﹏ˋ仰望

看著很牛啊

dengxiangxi

超精密切削加工
主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用經(jīng)過精細研磨的單晶金剛石車刀進行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、表面高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，最高精度可達0.1微米，表面粗糙度為Rz0.05微米。
超精密特種加工
加工精度以納米，甚至最終以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標(biāo)時，切削加工方法已不能適應(yīng)，需要借助特種加工的方法，即應(yīng)用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的結(jié)合能，從而去除工件表面的部分原子間的附著、結(jié)合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。這些方法的特點是對表面層物質(zhì)去除或添加的量可以作極細微的控制。但是要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設(shè)備和精確的控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設(shè)備。